日本 SIMCO 思美高 AeroBarMP MODEL 5635 静态条

日本    SIMCO  思美高  AeroBarMP MODEL  5635   静态条

5635型Aerobar MP电离器是一款超低颗粒兼容产品，专为静电应用开发，适用于需要100纳米或更小微颗粒管理的应用，如先进半导体制造工艺。

输入电压 24V 直流 +/-10%

输出电压 最高可调电压可调至约13.5kV p-p

安装距离 100mm~1000mm（无空气净化）

离子生成方法 电晕放电MP

（脉冲调制）调制频率 1 ~ 33 Hz

离子平衡 自动平衡方法

<+/-10V 正下方 位置差异 <+/-10V

（600毫米距离）

电极 单晶硅电极可互换

净化气体 干净的干空气或氮气

最大净化压力 310Kpa

臭氧含量 <0.05ppm（24小时累计值）

信号输出 AlarmIO 开集电极输出